В России создана линейка робототехнических комплексов, предназначенных для обнаружения дефектов на этапах производства микросхем. Эти устройства способны выявлять брак на разных технологических линиях с минимальным размером дефектов в три микрона и скоростью проверки до одного квадратного сантиметра в секунду. В основе работы оборудования лежит программное обеспечение с нейросетями, обученными на более чем шести тысячах изображений, что обеспечивает возможность адаптации систем для контроля новых видов микросхем.
Контроль качества в микроэлектронике играет ключевую роль, поскольку современные микросхемы отличаются высокой миниатюрностью и сложностью, требуя точного выявления дефектов на микроуровне. Для решения этой задачи российские инженеры разработали семейство интеллектуальных роботов-инспекторов, которые исследуют изделия на различных этапах производства. С помощью алгоритмов машинного зрения каждую микросхему анализируют на соответствие стандартам, а результаты проверки в режиме реального времени выводятся на экран. Это позволяет не только своевременно обнаруживать дефекты, но и предотвращать их появление в будущем.
«При контроле качества электроники возможности человеческого зрения ограничены, особенно когда речь идет о размерах устройств в несколько микрон. Наш робототехнический комплекс направлен на решение этих проблем. Он оснащен различными камерами, электронными микроскопами и искусственным интеллектом для выявления дефектов в оптическом диапазоне, а также рядом дополнительных датчиков», — рассказал Известиям старший инженер АО «ЦКБ «Дейтон» (входит в ГК «Элемент») Вячеслав Малышев.
Кроме того, комплексы ведут протоколирование хода проверки, формируют сводные отчеты по обнаруженным изъянам, рассчитывают выход годных изделий и анализируют динамику изменения качества продукции. Такая аналитика помогает выявлять слабые места в технологическом процессе и устранять их, что способствует увеличению доли качественной продукции и снижению себестоимости.
По словам Вячеслава Малышева, среди дефектов, которые выявляют роботы, встречаются трещины, царапины, сколы, возникающие из-за нарушений на производстве, а также непропечатанные фрагменты, перекосы, неоднородности, обрывы дорожек, пыль и остатки химикатов. Размеры контролируемых изделий варьируются от 0,1 мм до 300 мм, при этом максимальное разрешение камер достигает трех микрон, а скорость проверки – одного квадратного сантиметра в секунду.
«Все операции выполняются в автоматическом режиме. Комплекс оснащен программным обеспечением на базе отечественных патентованных разработок. В состав ПО входят нейронные сети, обученные на более чем шести тысячах изображений», — добавил инженер.
