Ученые из госкорпорации «Росатом» объявили о разработке технологии производства особо чистого гексафторида вольфрама — критически важного вещества для микроэлектроники, которое Россия до сих пор импортировала из-за границы. Эта новинка была создана в Научно-исследовательском институте научно-производственного объединения «Луч», расположенном в Подольске.
Работа над технологией и аппаратурно-технологической схемой велась в рамках государственного контракта с министерством промышленности и торговли России с 2023 по 2024 год. Создание нового производственного участка направлено на импортозамещение и достижение технологической независимости страны, особенно в условиях, когда отсутствие поставок из-за рубежа становится все более актуальным.
Особо чистый гексафторид вольфрама находит широкое применение в микроэлектронике, включая производство полупроводников, где он используется для осаждения металлического слоя вольфрама из газовой фазы. Этот слой отличается высокой термостабильностью и низким электрическим сопротивлением, что делает его идеальным для защиты плат и схем. Кроме того, гексафторид вольфрама используется в методах газофазной металлургии, таких как водородное восстановление и химические транспортные реакции.
В настоящее время идут работы по проектированию первого в России производственного участка, который будет включать полный спектр технологического и аналитического оборудования для производства гексафторида вольфрама. Успешная реализация этого проекта позволит России значительно укрепить свои позиции в области высоких технологий и снизить зависимость от зарубежных поставок.
